O'zaro oqim bosimini tartibga soluvchi valf konstruksiyalari talab qilinadigan ishga tushirish kuchining kamayishi va qurilmaning bosib o'tish maydonining kamayishi tufayli yuqori oqim bosimini nazorat qilish ilovalari uchun jozibador. 1,5 bar ta'minot bosimida 1,3 Nl / min oqimni boshqaradigan pichoqli eshik valfi ishlab chiqarildi. Vana chuqur reaktiv ion bilan ishlov berish (DRIE) va silikon termoyadroviy bog'lash yordamida mikro ishlab chiqarilgan. Bosimlarni nazorat qilish tizimlarida mikro ishlangan pichoqli eshik klapanlaridan foydalanish ish faoliyatini oshiradi va xarajatlarni tejash imkonini beradi.
Ommabop mahsulotlar
So'rov yuborish